Sensores, instrumentos elétricos, calibradores, interruptores e contadores para medir e controlar a pressão de fluidos, o fluxo de pressão, vácuo e gás Aparelhos para análise de gases residuais Monitores para a detecção de composições gasosas com recâmara de processamento Espectômetros de massa Adaptadores Adaptadores elétricos para interface analógica-digital Equipamentos (hardware) de computação utilizados para a medição e controle de pressão de fluidos, fluxo de vácuo e gás Provedores e geradores de energia de rádio freqüência, corrente direta e microondas Geradores de energia para produzir energia a partir de reações químicas de gases Válvulas de pressão de gás e fluidos, flanges e acessórios para controlar, conter, isolar e interromper o fluxo de gases e fluidos Barras de gás compostas por controladores de fluxo gasoso, transductores de pressão, vávulas de controle, válvulas de isolamento e volumes Detetores de perda de gás hélio Detetores e analizadores de gás Equipamentos de calibração para o monitoramento a ajuste de fluxo e pressao de gás e fluidos Sifões para capturar os desperdícios que emanam da câmara de processamento Sistema de condução de líquidos composto por principalmente uma bomba, vaporizador, e controlador para a vaporização de um líquido a gás e condução de gás à câmara de processamento Equipamentos de computação (hardware) e programas (software) para medir a transmissão, índice de reflexão, densidade ótica e espessura de películas de metal finas, e para prover imagens topográficas das mesmas Programas de computador para operar espectômetros óticos Programas de computador para operar espectômetros de massa Equipamentos de computador (hardware) e programas de computador (software) para determinar a presença e medir os contaminantes residuais Dispositivos de microprocessador baseados na comunicação de informação para a comunicação entre analizadores quadrapole de massas gasosas ou analizadores de massa de fluidos Dispositivos utilizados para gerar ondas de radio e plasma de microondas Geradores de gás reativos incluindo fontes de plasma remotas e geradores de ozônio Controladores, equipamentos de computação (hardware) e programas de computação (software) para serem utilizados no monitoramento e controle da geração de fluidos, vácuo e gás, dispositivos de fluxo, detecção, análise e condução Amplificadores de rádio freqüência e geradores de energia de rádio freqüência Geradores de corrente direta
